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潔淨廠房_富潔淨化(在線谘詢)_10萬級潔淨廠房

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    山東淨化設備,山東淨化工程,山東淨化車間


    單向流潔淨室

    單向流潔淨室一般有兩種類型,即水平流和垂直流。在水平流係統中,氣流是從一麵牆流向另一麵牆。在垂直流係統中,氣流是從吊頂流向地麵。對要求潔淨室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場合,就使用單向氣流。以前稱這類潔淨室為“層流”潔淨室。單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況:氣流以一個方向流動(或是垂直的或是水平的),並以一般是0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分鍾至100英尺/分鍾)的均速流過整個空間。由滿布潔淨室吊頂的高xiao過濾器向室內送風。氣流有如一個空氣活塞,向下流經室內,帶走汙染物,然後從地麵排出。又在與外部的一些新鮮空氣混合後,再循環至高xiao過濾器。人員和工藝所產生的懸浮汙染可立即被這種空氣清除掉,而紊流通風係統采用的是混合與稀釋原理。在一間沒有任何障礙物的空房間,製藥潔淨廠房,單向流用比前麵提到的低得多的風速,就可以很快將汙染物清除。但在一個操作間,機器以及機器周圍走動的人員,會對氣流形成障礙。障礙物可以使單向流變成紊流,從而在障礙物周圍形成氣流團。人員的活動也可以使單向流變成紊流。在這些紊流中,由於風速較低,空氣稀釋程度較小,從而使得汙染濃度較高。因此,必須將風速保持在0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分鍾至100英尺/分鍾)的範圍裏,以便使中斷的單向流能快速恢複,充分稀釋障礙物周圍紊流區的汙染。用風速可以正確地表示出單向流,因為風速越高室內就越潔淨。而每小時換氣次數與房間的體積有關,如吊頂的高低,因此不適合用來表示單向流。單向流室內的送風量是紊流室的很多倍(10到100倍)。




      潔淨空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔淨度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以後還要列舉,但作為總的原則看,由於加工精度越來越精細,所以對溫度波動範圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與矽片的熱膨脹係數的差要求越來越小。直徑100 um的矽片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,100級潔淨廠房,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以後,對產品將有汙染,特別是怕鈉的半導體車間,10萬級潔淨廠房,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生鏽。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把矽片表麵粘著的灰塵化學吸附在表麵難以清除。相對濕度越高,粘附的越難去掉,潔淨廠房,但當相對濕度低於30%時,又由於靜電力的作用使粒子也容易吸附於表麵,同時大量半導體器件容易發生擊穿。對於矽片生產jia濕度範圍為35-45%。


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